結(jié)晶態(tài)三氧化鎢膜可以通過磁控濺射沉積再通過熱處理獲得。通過磁控濺射沉積獲得的是非晶態(tài)三氧化鎢膜，在空氣中分別加熱200℃，250℃，300℃，350℃及400℃，並保溫30min進行熱處理。隨著熱處理溫度的提高，非晶態(tài)三氧化鎢膜的電致變色性能下降。當熱處理溫度高於350℃時，非晶態(tài)轉(zhuǎn)變成結(jié)晶態(tài)。
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著色的結(jié)晶態(tài)三氧化鎢膜在可見光譜範圍（380nm-780nm）及太陽光譜範圍內(nèi)吸收調(diào)製能力低於非晶態(tài)三氧化鎢膜，但是結(jié)晶態(tài)三氧化鎢膜在近紅外區(qū)有較強的反射調(diào)製。基片加溫到220℃以上沉積得到的三氧化鎢膜均為結(jié)晶態(tài)。這種結(jié)晶態(tài)膜的電致變色性能優(yōu)於空氣中熱處理得到的結(jié)晶態(tài)三氧化鎢膜，但兩種膜的變色性能與各自的製備溫度沒有明顯的依賴關(guān)係。在相同的電化學測試參數(shù)條件下，結(jié)晶的三氧化鎢膜的變色回應(yīng)速率低於非晶態(tài)膜。
