為瞭解不同氧氣分壓對(duì)Ti摻雜氧化鎢電致變色薄膜結(jié)構(gòu)性能影響，有專家採(cǎi)用下述方法先製備得到摻Ti的WO3薄膜。
更多內(nèi)容請(qǐng)?jiān)L問：
http://www.tungsten-powder.com/traditional/tungsten_oxide.html
使用鎢鈦合金（含鈦品質(zhì)分?jǐn)?shù)6%）作為靶材，在FTO透明導(dǎo)電玻璃（方塊電阻為～20Ω）基底上通過脈衝直流電源反應(yīng)濺射沉積了WO3:Ti薄膜。濺射前本底真空抽至低於4.5*10-4Pa，高純氬氣（99.9%Ar）作為工作氣體，高純氧氣（99.9%O2）作為反應(yīng)氣體，基片溫度350℃，固定工作氣壓1.7Pa，通過改變通入O2流量7sccm、9sccm、13sccm、15sccm，沉積了不同氧氣分壓WO3:Ti薄膜。因?yàn)楣ぷ鳉鈮汗潭ú蛔儯?dāng)O2流量增大，Ar分壓下降，單位時(shí)間內(nèi)轟擊靶材表面的Ar+數(shù)量減少，濺射出的W原子減少，導(dǎo)致沉積速率下降。
