據報導，有專家採用脈衝直流反應磁控濺射鍍膜方法在FTO透明導電玻璃上製備了不同厚度的晶態(tài)氧化鎢薄膜。專家表示，作為電致變色器件中對整個器件變色幅度和著色效率影響最大的陰極變色層，應當選擇合適的氧化鎢薄膜厚度。
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此外，專家們也講到，所製備的薄膜具有單斜晶系結構，隨著厚度增加，結晶程度逐漸增強，表面粗糙度逐漸降低。薄膜著色後由單斜晶系WO2.92轉變?yōu)榱⒎骄礧O3，產生晶格應變，薄膜厚度增加，晶格應變先減小後增大，薄膜厚度為250nm時晶格應變最小，厚度增加到300nm薄膜著色產生應變明顯增大。不同厚度薄膜著色前後表面粗糙度變化與晶格應變一致，粗糙度先減小後增大，250nm處薄膜著色前後表面粗糙度變色最小。在相同驅動電壓下，厚度300nm薄膜褪色時由於產生的應力過大導致鋰離子遷移受阻，一部分W5+無法轉變成W6+，不能完全褪色，變色幅度變小同時著色效率下降。薄膜厚度為250nm附近時電致變色最佳，有著較高的光學調製幅度和變色效率。
