就新一代的積體電路來(lái)說(shuō)，其非常適合選用六氟化鎢半導(dǎo)體材料來(lái)作為重點(diǎn)功能性原料，能顯著提高產(chǎn)品電化學(xué)性能，使之更適合應(yīng)用於5G手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)、電腦CPU等電子設(shè)備中。那六氟化鎢具體有哪些性質(zhì)呢？
六氟化鎢（Tungsten hexafluoride）是一種無(wú)色無(wú)味氣體或者是淺黃色液體，分子式為WF6，分子量為297.84，沸點(diǎn)為17.5°C，熔點(diǎn)為2.3°C，而密度大、毒性強(qiáng)、腐蝕性強(qiáng)是它最為顯著的特點(diǎn)。
1、氣體密度大
WF6在不同的溫度下表現(xiàn)出的形態(tài)是不一樣的，它的密度是所有被發(fā)現(xiàn)的氣體中最大的，在常溫狀態(tài)下六氟化鎢的結(jié)構(gòu)是對(duì)稱的，並且呈現(xiàn)正八面體的形狀。
2、腐蝕性較強(qiáng)
WF6對(duì)玻璃具有較強(qiáng)的腐蝕性，在乾燥和潮濕時(shí)表現(xiàn)出的腐蝕程度是不一樣的，前者的腐蝕性較差，而後者則能對(duì)玻璃進(jìn)行快速反應(yīng)，腐蝕性較強(qiáng)。
3、有毒氣體
WF6是一種有毒氣體，如果不慎進(jìn)入到人體的呼吸道、皮膚和眼睛，會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)烈的刺激和腐蝕作用，這是因?yàn)榱u在空氣和水中很快進(jìn)行水解，迅速生成氟化氫和三氧化鎢，從而造成皮膚、眼睛和呼吸道等不同程度的灼傷。
六氟化鎢由於物理化學(xué)性質(zhì)較為特殊的原因，而常用來(lái)作為在電子工業(yè)中的一種原材料，其經(jīng)過(guò)化學(xué)氣相沉積工藝後能形成金屬鎢，再將金屬鎢用於製作成WSi2，最後再形成大規(guī)模積體電路中的配線材料。
