六氟化鎢（WF6）是一種無機化合物，常溫常壓下爲無色氣體，主要應(yīng)用在集成電路製造領(lǐng)域，具體來說，在化學氣相沉積工藝中，通過沉積和堆疊製成大規(guī)模集成電路中的導電膜和金屬配綫材料。工業(yè)上常用固定床反應(yīng)器使金屬鎢與氟氣或N3F直接反應(yīng)的方法來製備WF6，在實際操作中産物易夾帶鎢粉，很難進行連續(xù)生産且反應(yīng)器效率低。爲了解決上述的不足，專利號爲CN101428858A的研究者提出了一種新的生産方法，具體步驟如下：
六氟化鎢圖片
1）將氟氣通入預熱器中預熱至溫度爲50°C~200°C；2）預熱後氣體進入流化床反應(yīng)器中，流化床床內(nèi)溫度爲200°C~400°C壓力爲0.1~0.5MPa，反應(yīng)器中部連續(xù)加入計量的鎢粉；3）流化床反應(yīng)器上部得到的粗品六氟化鎢進入冷凍收集器或冷凍溫度爲-35°C~0°C，收集器頂部抽真空去除其中的氮氣、氟氣、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳和三氟化氮這些不凝性氣體雜質(zhì)；4）步驟3）得到的産物通過精餾塔精餾除其中的重組分雜質(zhì)後得到高純WF6。
中鎢在綫鎢粉圖片
該生産技術(shù)的注意事項包括：氟氣純度在99%以上，其中氟化氫含量在20ppmv以下；鎢粉顆粒度爲30~100目，純度在99.95%以上；氟氣預熱溫度爲100°C~150°C。
該工藝所用的流化床，爲一空塔反應(yīng)器，下部爲主體反應(yīng)段，上部爲放大沉降段；反應(yīng)器底部設(shè)置有氣體分布器，鎢粉給料倉設(shè)在反應(yīng)器外中部，鎢粉在加料管道中通過氮氣以氣體輸送方式進行加料；氟氣給料口設(shè)在鎢粉給料倉相對一側(cè)；反應(yīng)器上部沉降段外設(shè)有冷卻夾套，內(nèi)設(shè)交替使用的兩個過濾管，過濾管配置氮氣反吹裝置。
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