高純緻密三氧化鎢是一種可以用於製備高純度超高緻密度WO3靶材的原料。而WO3靶材是電子束蒸鍍法製備電致變色用三氧化鎢薄膜常用的蒸鍍物質(zhì)。WO3薄膜是一種重要的功能材料，因其具有優(yōu)良的電致變色性能而被用於電致變色系統(tǒng)中，如智慧調(diào)光玻璃等。隨著調(diào)光玻璃的推廣，高純緻密WO3的應(yīng)用也將逐步增多。
選用WO3靶材作為蒸鍍物質(zhì)是一種優(yōu)化方案，雖然目前研究較多的是採(cǎi)用WO3粉末作為蒸鍍物質(zhì)，但是採(cǎi)用粉末的形式通常是不合適的。但是，當(dāng)前國(guó)內(nèi)外卻鮮有對(duì)WO3靶材製備的報(bào)導(dǎo)。具有密度低、純度低等缺點(diǎn)的三氧化鎢粉末並不能滿足製備WO3靶材的條件，因此製備高純度高密度WO3靶材具有重要的意義。
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